Об AMC для чистых помещений
2026-03-05
Характеристики полупроводников обусловливают необходимость соблюдения требований к чистоте в процессе их производства:
Примеси могут изменять или нарушать рабочие характеристики полупроводников, поэтому в процессе производства полупроводниковых устройств необходимо строго контролировать все факторы. Существуют различные виды примесей: например, ионы металлов могут нарушать электропроводность полупроводниковых устройств, а частицы пыли — повреждать структуру их поверхности.
Требования к производственной среде полупроводниковых устройств очень строгие: требуется постоянная температура и влажность, а классы чистоты определяются по количеству частиц пыли определенного размера на единицу объема. Обычно они делятся на классы 10, 100, 1000, 10 000 и 100 000.
Степень чистоты определяется по максимально допустимому количеству частиц в кубическом метре (или кубическом футе) воздуха. Названия классов соответствуют логарифмическому значению (с основанием 10) максимально допустимого количества частиц размером 0,5 мкм и более в кубическом метре воздуха (в британской системе мер — в кубическом футе воздуха).
Что такое AMC в чистых помещениях?
AMC (Airborne Molecular Contamination) в чистых помещениях — это загрязнения молекулярного уровня, находящиеся в воздухе чистых помещений. Традиционные испытания чистых помещений в основном сосредоточены на контроле частиц, однако в некоторых специальных случаях загрязнения молекулярного уровня также могут оказывать негативное влияние на продукцию или технологический процесс.
Распространенные источники AMC:
1.Химические вещества, используемые в производственном процессе
2.Органические сульфиды, выделяемые при использовании серсодержащих органических растворителей на соседних предприятиях
3.Летучие органические соединения (VOC), выделяемые в ходе нефтехимических процессов, и продукты их фотохимических реакций
4.Оксиды серы и оксиды азота в атмосфере
