
Трёхкомпонентный химический фильтр серии JF-MF-AC специально разработан для удаления фторидов, кислотно-щелочных газообразных загрязнителей. Эффективность очистки может достигать ≥99%, что позволяет стабильно контролировать содержание вредных газов на уровне ppb и эффективно улавливать различные коррозионные и вредные газообразные загрязнители, обеспечивая безопасность чистой среды.
Трёхкомпонентный химический фильтр серии JF-MF-AC специально разработан для удаления фторидов, кислотно-щелочных газообразных загрязнителей. Эффективность очистки может достигать ≥99%, что позволяет стабильно контролировать содержание вредных газов на уровне ppb и эффективно улавливать различные коррозионные и вредные газообразные загрязнители, обеспечивая безопасность чистой среды. Фильтрующий материал обработан по технологии отверждения, что исключает риск выпадения частиц, а также выделения ионов и летучих органических соединений, предотвращая вторичное загрязнение. Фильтр обладает преимуществами низкого аэродинамического сопротивления и высокой пылеёмкости, отличается низким энергопотреблением и длительным сроком службы. Изделие строго соответствует требованиям стандарта чистоты ISO 14644 и нормам SEMI по контролю AMC в полупроводниковой промышленности.
Подходит для использования в сценариях с жёсткими требованиями к контролю газообразных загрязнителей, таких как полупроводниковая промышленность и производство высокоточных электронных компонентов.
| Габаритные размеры | стандартные / по индивидуальному заказу, адаптируются под системы FFU, MAU, AHU и другие |
| Эффективность очистки от фторидов | Одноразовая эффективность очистки от HF, фторидных аэрозолей и фторсодержащих органических газов: ≥ 99,0%
Эффективность очистки от кислотных/щелочных газов (SO₂, NH₃ и др.): ≥ 95% |
| Начальное и конечное сопротивление | ≤ 105 Па при скорости 0,3–0,6 м/с; рекомендуемое конечное сопротивление: ≤ 350–450 Па |
| Адсорбционная среда | специальная модифицированная фтор-удаляющая среда |
| Конструкция | барабанного типа / панельная плотно-гофрированная / гофрированная высокоэффективная |
| Материал рамки | стандартно — пластиковый корпус из АБС; опционально — оцинкованная сталь или нержавеющая сталь |
| Герметизирующий компаунд | полиуретановый клей ПУ |
| Способ монтажа | защёлкивающийся тип уплотнения (стандартно — EVA) |
| Температура и влажность | 10–50 °C; влажность: 40–70 % RH (типовые условия чистого помещения) |
| Номер
|
Ширина (W) × Высота (H) × Глубина (D) | Номинальная производительность (м³/ч)
|
Сферы применения
|
|
| дюйм
|
мм
|
|||
| 1 | 22×22×4 | 570×570×96 | 500 | Совместимость с модулями FFU |
| 2 | 46×22×4 | 1170×570×96 | 1000 | Совместимость с модулями FFU |
| 3 | 46×46×4 | 1170×1170×96 | 2000 | Совместимость с модулями FFU |
| 4 | 24×24×12 | 610×610×295 | 2800 | Адаптация к кондиционерам и нестандартным воздуховодам |
Примечание: по запросу возможна изготовка изделий нестандартных размеров, подходящих для FFU, MAU, AHU и технологических вытяжных отверстий.
Выбор толщины: для стандартных систем очистки рекомендуется толщина 69–90 мм; для отработанных газов с высокой концентрацией фтора или при повышенных требованиях к чистоте рекомендуется утолщённый вариант толщиной 292 мм.
Диапазон колебаний начального сопротивления: ±10 % (при скорости воздушного потока 0,3–0,6 м/с).